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纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定
Angular displacement sensor with nano-radian resolution and calibration techniques of mean sensitivity
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海200093 [2]日本东北大学大学院工学研究科
年 份：2003
卷 号：29
期 号：2
起止页码：161-163
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：给出了基于六次临界反射棱镜的精密角位移传感器,采用的是差动式结构。实验结果表明,传感器灵敏度高,量程为500μrad,具有5nrad的分辨力。提出了适合于小量程角位移传感器的平均灵敏度的标定方法,可以快速标定平均灵敏度,降低标定过程中标定系统及传感器自身漂移对标定精度的影响。
关 键 词：角位移传感器 纳弧度分辨力 平均灵敏度标定
分 类 号：TP212]
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