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扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用
THE APPLICATION OF SCANNING PROBE MICROSCOPE IN OBSERVING AND DETERMINING THE ROUGHNESS, NANO-SCALED SIZE AND SURFACE TOPOGRAPHY
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国上海测试中心,上海200233
年 份：2003
卷 号：39
期 号：3
起止页码：146-150
语 种：中文
收录情况：CAS、JST、普通刊
摘 要：扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征、表面形貌观测方面最重大的进展之一 ,是纳米测量学的基本工具。叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法 ,比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能 ,着重介绍了扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用和存在的问题。
关 键 词：观测 扫描探针显微镜 粗糙度 表面形貌 纳米尺寸 工作原理
分 类 号：TG8] TH742]
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