文献类型：期刊文章

作　　者：王宏伟[1] 张伟[1] 林宇[1] 张朝民[2]

机构地区：[1]北京信息工程学院传感技术研究中心,北京100101 [2]佳木斯大学理学院,黑龙江佳木斯154004

出　　处：《电子元件与材料》

基　　金：军事电子预先研究资助项目(No.41323030422)

年　　份：2003

卷　　号：22

期　　号：3

起止页码：10-12

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过对加速度计的研究,开发了一类利用差动电容敏感的力学传感器的信号检测电路.在电路中给出了所使用的电子元器件,并进行分析求解,给出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系.经过实验测试,当电容变化0.01 pF时,就有10 mV的输出电压.故该电路可以检测微弱电容的变化,特别是电容变化量为0.01~1.00 pF的小电容变化.

关 键 词：力学传感器 信号提取 微机械 差动电容 电路

分 类 号：TP212.1] TN911.7]