期刊文章详细信息
弱光反馈下自混合干涉高精度振动测量算法
The High Precision Vibration Measurement Algorithm for Self-mixing Interference with Weak Light Feedback
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]郑州大学信息工程学院 [2]71677部队
基 金:河南省商业学校重点科研项目计划(15A5100B)
年 份:2015
卷 号:0
期 号:11
起止页码:86-90
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:提出了一种新的高精度振动测量算法"等相位截线法"。该方法通过对"三镜腔法"的模型方程进行等初始相位的数字化处理,使模型方程可用有限个数字表出,然后采用顺序比较的方法测量振动或位移,分辨率可达激光波长的1%,最大重构误差可控制在10nm以内。针对弱光反馈条件,论文提出了一种利用自混合干涉信号相邻极值连线的斜率比判断振动方向的方法,克服了因信号倾斜不明显造成的振动方向判断难的问题。
关 键 词:自混合干涉 振动测量 算法设计 高精度
分 类 号:O436.1]
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