文献类型：期刊文章

作　　者：黄沛[1] 陈博[2] 李岩[1]

机构地区：[1]清华大学精密仪器系,北京100084 [2]北京理工大学附属中学,北京100081

出　　处：《激光技术》

基　　金：国家重大科技专项课题资助项目(2012ZX04003071)

年　　份：2017

卷　　号：41

期　　号：2

起止页码：235-239

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2017_2018、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了实现对微小位移的测量,研制了一套基于单模光纤输出半导体激光器和2维位置敏感探测器的位移检测系统,可以有效地抑制环境光噪声。对半导体激光器的注入电流进行1k Hz的调制,实现输出光功率的调制。在信号处理电路中,采用相敏检波技术,解调探测器的输出交流信号,得出光斑能量中心位置,消除外界干扰。结果表明,测量精度优于1μm。这一结果对于多自由度误差检测是有帮助的。

关 键 词：激光技术 位置检测  相敏检波 2维位置敏感探测器  

分 类 号：TN247] TL814]