文献类型：期刊文章

作　　者：彭钦军[1] 郭永康[1] 陈波[1] 刘世杰[1] 曾阳素[1]

机构地区：[1]四川大学物理系信息光学研究中心,成都610064

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金 ( 6 99780 14)资助课题。

年　　份：2003

卷　　号：23

期　　号：2

起止页码：220-224

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2003247503924)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为 118.7μm ,深为 1.32 2 μm的 5 6× 48的轴锥镜的列阵。

关 键 词：制作  应用光学 实时掩膜  液晶显示器件 连续微光学元件  光刻

分 类 号：TN201] TN305.7