期刊文章详细信息
微传感器最新发展
The up-to-date Development of Microsensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京航空航天大学测控技术与仪器系,北京100083
基 金：国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 0 0 9);航空科学基金资助项目 (0 2 I5 10 18)
年 份：2003
卷 号：23
期 号：1
起止页码：1-8
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：近年来 ,微传感器受到国际传感技术界的广泛关注。本文介绍十多个微传感器 ,包括三轴加速度计 ,单、双轴加速度计片 ,表面微机械陀螺 (角速度传感器 ) ,微惯性导航系统 ,微磁通门传感器 ,磁阻传感器 ,纳米皮拉尼压力传感器 ,微科氏质量流量计 ,毫米波图像传感器 ,GPS手表 (1cm3) ,二氧化碳传感器和微 /超微角位移传感器。文中简要介绍它们的基本结构、敏感机理、特点等 。
关 键 词：微传感器 压力 加速度 陀螺 质量流量 磁通门 图像传感器 毫米波
分 类 号：TP212]
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