期刊文章详细信息
磁控溅射纳米SnO_2薄膜的气敏特性
Gas sensing character of nanometer SnO_2 film prepared by magnetron sputtering
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]福州大学气敏传感器研究所,福建福州350002
年 份：2003
卷 号：22
期 号：1
起止页码：61-64
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用磁控溅射制备SnO2薄膜气敏元件,测试了气敏元件的性能,研究了SnO2薄膜气敏元件薄膜厚度、元件加热功率和环境温度和湿度对元件的影响,气敏元件具有很好的灵敏度和选择性特性,对其敏感机理进行了探讨。
关 键 词：磁控溅射 气敏特性 二氧化锡薄膜 气敏元件 SNO2 敏感机理
分 类 号：TP212]
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