文献类型：期刊文章

作　　者：殷学锋[1] 沈宏[1] 方肇伦[1]

机构地区：[1]浙江大学化学系微分析系统研究所,杭州310028

出　　处：《分析化学》

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (No .2 0 2 990 3 0 )

年　　份：2003

卷　　号：31

期　　号：1

起止页码：116-119

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCI(收录号：WOS:000180964300028)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000180964300028)、SCIE、SCOPUS、UPD、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法。用AdobeIllustrator 8.0软件设计微流控芯片图形 ,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模。用商品匀胶铬板表面的 14 5nmCr 5 70nmAz 180 5光胶层作为保护层 ,在 5 0℃刻蚀液 (1mol LHF +1mol LNaF)中 ,刻蚀速度为 2 μm min。通过彻底洗净加工好的玻璃基片 ,提高了芯片热键合的质量和成品率。制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增。

关 键 词：玻璃微流控芯片  微加工技术 掩模 湿法刻蚀 键合 光刻

分 类 号：TN405]