期刊文章详细信息
扫描电镜中X射线荧光能谱分析——改善分析灵敏度的一种方法
Energy Dispersive X-Ray Fluorescence Analysis in Scanning Electron Microscope—A New Technique to Improve Analysis Sensitivity
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北大学理化分析中心 [2]中国科学院科学仪器厂
年 份：1992
卷 号：11
期 号：2
起止页码：152-156
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文描述了我们在扫描电镜中用于X射线荧光分析的附加装置。对电子激发和X射线激发得到的能谱进行了比较。结果表明,在扫描电镜中用X射线荧光得到的能谱,峰背比(P/B)有明显的提高,能检测出样品中的微量元素。将本实验结果与JEOL的报导和用Tracor Xray公司的装置所做的实验结果相比较,说明本实验的装置在峰背比、束斑尺寸等方面都有明显的改善。在我们的实验中,原级X射线束斑直径小于1.
关 键 词：扫描电镜 X射线 能谱仪 荧光
分 类 号：TH838.2[仪器类]
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