期刊文章详细信息
基于纳米定位的压电陶瓷执行器控制方法的研究进展 ( EI收录)
Review of Research on Control Methods of Piezoceramic Micropositioner in Nano-positioning process
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]大连理工大学机械工程学院 [2]大连理工大学电子与信息工程学院
基 金:国家自然科学基金资助项目 (697740 2 0 )
年 份:2003
卷 号:14
期 号:2
起止页码:164-168
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性、迟滞和蠕变 ,从而大大降低了它的定位精度。从控制方式、驱动方式和控制算法上 ,分析、总结了国内外关于纳米定位中压电陶瓷执行器的各种控制方法 ,进而提出 :压电陶瓷执行器在静态或对频响要求不高的场合下 ,应采用电压驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法 ;而在对频响要求较高的场合下 ,应采用电荷驱动。
关 键 词:执行器 压电陶瓷 纳米定位 控制方法 研究进展
分 类 号:TP273]
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