文献类型：期刊文章

作　　者：李美萱[1,2] 李宏[1,2] 张斯淇[1,2] 张文颖[1,2] 郭明[1,2]

Li Meixuan;Li Hong;Zhang Siqi;Zhang Wenying;Guo Ming(Institute For Interdisciplinary Quantum Information Technology,Jilin Engineering Normal University,Changchun 130052,China;Jilin Engineering Laboratory for Quantum Information Technology,Changchun 130052,China)

机构地区：[1]吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院,吉林长春130052 [2]吉林省量子信息技术工程实验室,吉林长春130052

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金(61703056);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ);吉林工程技术师范学院博士科研启动基金(BSKJ201826)

年　　份：2019

卷　　号：48

期　　号：9

起止页码：217-225

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为满足浸没式光刻照明系统对掩模面高均匀性和不同照明模式的要求,对照明系统中的照明模式变换器进行了研究。采用衍射光学元件(Diffractive Optical Elements,DOE)来产生各种照明模式,从光栅结构出发,经两步变换分析了光栅转变为DOE的过程。并提出一种离散抽样加密算法,以抽样线宽1~5μm的四极照明DOE为例,揭示了DOE特征尺寸、衍射效率和光强分布非均匀性的实际对应关系。设计结果表明:随着抽样线宽的减小,整形光束的衍射效率和均匀性将得到较大提高。利用接触式光刻工艺完成了特征尺寸为1.76μm×1.76μm的16台阶照明模式变换DOE的制作,通过搭建光学测试平台对不同照明模式下DOE的光强非均匀性和衍射效率进行了测试,结果满足设计要求,验证了离散抽样加密算法能够有效指导照明模式变换系统DOE的设计。

关 键 词：浸没式光刻 照明模式变换  衍射光学元件 离散抽样加密算法  

分 类 号：TP309.7] O436.1[计算机类]