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Al_2O_3薄膜的应用与制备
APPLICATION AND PREPARATION OF Al_2O_3 THIN FILMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]辽宁工程技术大学材料系,辽宁阜新123000 [2]大连理工大学三束实验室,辽宁大连116024
年 份：2002
卷 号：8
期 号：4
起止页码：236-240
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：Al2O3薄膜因其光学性能优良、机械强度与硬度高、透明性与绝缘性好、耐磨、抗蚀及化学惰性等特点而引起人们的极大兴趣,已经广泛地应用于光学、机械及微电子等领域。简述了Al2O3薄膜的应用及制备方法。
关 键 词：AL2O3薄膜 氧化铝 性能 应用 制备方法 光学机械 物理气相沉积 脉冲激光沉积 化学气相沉积
分 类 号：TB43] O484]
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