文献类型：期刊文章

作　　者：范策[1] 刘自军[2] 顾辰杰[1,2] 沈祥[2] 徐铁峰[2,3] 陈益敏[1,2,3]

FAN Ce;LIU ZiJun;GU ChenJie;SHEN Xiang;XU TieFeng;CHEN YiMin(School of Physical Science and Technology,Ningbo University,Ningbo 315211,China;Zhejiang Provincial Key Laboratory of Optoelectronic Detection Materials and Devices,the Research Institute of Advanced Technologies,Ningbo University,Ningbo 315211,China;Ningbo Solartrum Co.Ltd.,Ningbo 315105,China)

机构地区：[1]宁波大学物理科学与技术学院,宁波315211 [2]宁波大学高等技术研究院,浙江省光电探测材料及器件重点实验室,宁波315211 [3]宁波阳光和谱光电科技有限公司,宁波315105

出　　处：《中国科学:物理学、力学、天文学》

基　　金：国家自然科学基金(编号:U21A2056,62374096,62075110);浙江省自然科学基金/重大项目/创新群体项目(编号:LDT23F05012F05)资助。

年　　份：2025

卷　　号：55

期　　号：8

起止页码：283-290

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2023、核心刊

摘　　要：本文采用熔融淬冷法制备了Ge_(20)Se_(60)Te_(20)和Ge_(20)Se_(20)Te_(60)硫系玻璃,并使用电子束蒸发法制备了Ge_(20)Se_(60)Te_(20)和Ge_(20)Se_(20)Te_(60)远红外非晶硫系薄膜.结合XRD、AFM、拉曼光谱、傅里叶光谱等技术,研究发现制备得到的非晶硫系薄膜能完全继承块体玻璃的结构,以及良好的远红外光学和热学性能.此外,该远红外非晶硫系薄膜具备亚波长厚度且无缺陷,以及极低的表面粗糙度、较低的光学损耗、极高的光学折射率.通过优化电子束蒸发实验参数,能高效可控制备得到~8μm厚的Ge_(20)Se_(20)Te_(60)薄膜,在8–14μm范围内,其折射率约为3.12,消光系数小于0.015,平均透过率接近70%.该薄膜的开发有利于远红外光子器件的研制,可用于如远红外高透的异质超构透镜应用.

关 键 词：非晶硫系薄膜  电子束蒸发沉积  远红外光学特性  

分 类 号：O484]