文献类型：期刊文章

作　　者：乔玲玲[1] 储蔚[1,2] 王哲[1,3] 程亚[1,2]

Qiao Lingling;Chu Wei;Wang Zhe;Cheng Ya(State Key Laboratory of High Field Laser Physics,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;The Extreme Optoelectromechanics Laboratory,School of Physics and Materials Science,East China Normal University,Shanghai 200241,China;School of Physical Science and Technology,ShanghaiTech University,Shanghai 200031,China)

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室,上海201800 [2]华东师范大学物理与材料科学学院极端光机电实验室,上海200241 [3]上海科技大学物质科学与技术学院,上海200031

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金(61327902;61590934;11734009;11674340;11604351);中科院先导(XDB16000000)

年　　份：2019

卷　　号：39

期　　号：1

起止页码：200-209

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：飞秒激光脉冲加工具有热效应小、加工精度突破衍射极限、三维内部加工能力等特性,在微纳制备领域独具优势。综述了利用飞秒激光脉冲整形技术结合飞秒激光三维直写进行透明介质中微纳制备的最新进展,这些技术有望在新型集成光学和微纳光学中发挥重要的作用。

关 键 词：物理光学 光学器件 飞秒激光 脉冲整形 微加工

分 类 号：TN249]