文献类型：期刊文章

作　　者：谢中华[1,2] 渠红伟[2,3] 周旭彦[2,3] 张建心[2,4] 隋佳桐[1,2] 孟凡胜[2,3] 宫凯[1,2] 郑妹茵[1,2] 王海玲[2,3] 王宇飞[2,3] 齐爱谊[2,3]

Xie Zhonghua;Qu Hongwei;Zhou Xuyan;Zhang Jianxin;Sui Jiatong;Meng Fansheng;Gong Kai;Zheng Meiyin;Wang Hailing;Wang Yufei;Qi Aiyi(School of Physics and Physical Engineering,Qufu Normal University,Jining 273165,Shandong,China;Weifang Academy of Advanced Opto-Electronic Circuits,Weifang 261000,Shandong,China;Laboratory of Solid State Optoelectronics Information Technology,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;School of Physics and Electronic Information,Weifang University,Weifang 261061,Shandong,China)

机构地区：[1]曲阜师范大学物理工程学院,山东济宁273165 [2]潍坊先进光电芯片研究院,山东潍坊261000 [3]中国科学院半导体研究所固态光电信息技术实验室,北京100083 [4]潍坊大学物理与电子信息学院,山东潍坊261061

出　　处：《中国激光》

基　　金：山东省重点研发计划(2022CXGC02104);山东省重点研究开发计划(2023ZLYS03);广东省重点领域研究开发项目(2020B090922003)。

年　　份：2024

卷　　号：51

期　　号：6

起止页码：57-66

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2023、CAS、CSCD、CSCD2023_2024、EAPJ、EI、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了改善用于铷原子钟的795 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振稳定性,研究了不同氧化孔径和椭圆度对VCSEL偏振性能的影响。利用COMSOL Multiphysics的波动光学频域模块模拟了不同氧化孔径对有源区谐振光强的影响。结果表明,当氧化孔径为3.5~4.0μm时,有源区的谐振强度最高。采用可实时观察的湿法氧化系统,研究了氧化温度对氧化速率和氧化孔椭圆度的影响。随着注入电流的增加,三种不同椭圆氧化孔的VCSEL表现出不同的模式特性、偏振特性和偏振角旋转特性。测试结果表明,带有长轴径为3.7μm、椭圆度为1.7的椭圆氧化孔的VCSEL性能最佳。在85℃下,当注入电流为1.5 mA时,输出功率为0.86 mW,激光波长为795.4 nm,边模抑制比(SMSR)为43 dB,线宽为65 MHz,正交偏振抑制比(OPSR)为23.8 dB。在0.6~2.7 mA的范围内,VCSEL的主偏振方向保持不变。

关 键 词：激光器 垂直腔面发射激光器 氧化孔径  湿法氧化 正交偏振抑制比  窄线宽

分 类 号：TN248.4]