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期刊文章详细信息

扫描电镜中透射-反射式STEM明场成像装置的研制及应用    

Development and application of scanning transmission electron microscopy bright field imaging device

  

文献类型:期刊文章

作  者:赵学平[1] 侯小虎[1] 刘飞[1] 梁绍波[2] 崔晓明[2] 白朴存[2]

ZHAO Xueping;HOU Xiaohu;LIU Fei;LIANG Shaobo;CUI Xiaoming;BAI Pucun(Instrumental Analysis&Research Center,Inner Mongolia University of Technology,Hohhot Inner Mongolia 010051;College of Materials Science and Engineering,Inner Mongolia University of Technology,Hohhot Inner Mongolia 010051,China)

机构地区:[1]内蒙古工业大学测试中心,内蒙古呼和浩特010051 [2]内蒙古工业大学材料科学与工程学院,内蒙古呼和浩特010051

出  处:《电子显微学报》

基  金:国家自然科学基金资助项目(Nos.62264013,11762014);内蒙古自治区直属高校基本科研业务费项目(Nos.JY20220171,JY20220144,JY20220184).

年  份:2024

卷  号:43

期  号:2

起止页码:208-214

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2023、CAS、CSCD、CSCD_E2023_2024、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘  要:本文研制了一套透射-反射式扫描透射(STEM)明场成像装置,该装置使用背散射电子探头接收经过铂片反射的透射电子信号,可安装在FEI Quanta FEG系列扫描电镜中实现STEM明场成像。分别以埃洛石、Au@ZIF-8纳米颗粒和喷金乳胶标样验证自制STEM明场成像装置的实用性。结果表明:埃洛石STEM明场像的衬度与透射电镜中STEM明场像一致,管腔和管壁具有明显的衬度差异,可以清晰辨识管腔结构;在Au@ZIF-8纳米颗粒的STEM明场像中,Au颗粒衬度较暗,ZIF-8衬度较亮,通过两者之间的衬度差异可以观察到核壳结构;喷金乳胶标样上纳米金颗粒之间可识别的最小距离为2.03 nm,进一步验证了自制STEM明场成像装置具有较高的分辨率。

关 键 词:扫描电镜 扫描透射电子显微镜  明场像  成像装置  图像衬度  

分 类 号:TN16]

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