文献类型：期刊文章

作　　者：南雪莹[1,2] 刘会刚[1,2] 刘海涛[3,4]

Nan Xueying;Liu Huigang;Liu Haitao(Engineering Research Center of Thin Film Optoelectronics Technology,Ministry of Education,College of Electronic Information and Optical Engineering,Nankai University,Tianjin 300350,China;Department of Microelectronic Engineering,College of Electronic Information and Optical Engineering,Nankai University,Tianjin 300350,China;Institute of Modern Optics,College of Electronic Information and Optical Engineering,Nankai University,Tianjin 300350,China;Tianjin Key Laboratory of Micro-scale Optical Information Science and Technology,Tianjin 300350,China)

机构地区：[1]南开大学电子信息与光学工程学院薄膜光电子技术教育部工程研究中心,天津300350 [2]南开大学电子信息与光学工程学院微电子工程系,天津300350 [3]南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所,天津300350 [4]天津市微尺度光学信息技术科学重点实验室,天津300350

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家自然科学基金(62075104)。

年　　份：2024

卷　　号：51

期　　号：2

起止页码：162-170

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2023、CAS、CSCD、CSCD2023_2024、EAPJ、EI、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：与金属超表面相比,全介质超表面具有较低的欧姆损耗和较尖锐的共振峰。提出了一种基于“θ”形全介质硅超表面的双参数传感器。通过增加空孔破坏周期单元结构的对称性,从而产生两个Fano共振峰,其中第一个Fano共振峰为连续域中的准束缚态(QBIC),两个峰的光谱对比度分别为71.4%和99.4%。利用商用多物理场仿真软件COMSOL对该超表面周期结构进行模拟仿真,结果表明,传感器在两个Fano共振峰处的折射率传感灵敏度分别为278.9 nm·RIU-1和230.0 nm·RIU^(-1),优值(FOM)最大为9387,品质因子(Q)最大为9735。本传感器能够同时实现折射率和温度的双参数测量,仿真结果显示两个共振峰的温度传感灵敏度分别为18.86 pm·℃^(-1)和42.71 pm·℃^(-1)。

关 键 词：传感器 Fano共振  全介质超表面  折射率传感 温度传感  

分 类 号：O436]