文献类型：期刊文章

作　　者：何雨轩[1] 吴江威[1] 陈玉萍[1,2] 陈险峰[1,3,4]

HE Yuxuan;WU Jiangwei;CHEN Yuping;CHEN Xianfeng(State Key Laboratory of Advanced Optical Communication Systems and Networks,School of Physics and Astronomy,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China;School of Physics,Ningxia University,Yinchuan 750021,China;Collaborative Innovation Center of Light Manipulations and Applications,Shandong Normal University,Jinan 250358,China;Shanghai Research Center for Quantum Sciences,Shanghai 201315,China)

机构地区：[1]上海交通大学物理与天文学院,区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,上海200240 [2]宁夏大学物理学院,银川750021 [3]山东师范大学,光场调控及应用协同创新中心,济南250358 [4]上海量子科学研究中心,上海201315

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金重点项目(12134009)。

年　　份：2024

卷　　号：53

期　　号：3

起止页码：441-448

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2023、CAS、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文通过制备KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)熔融混合物,将其与铌酸锂薄膜在高温管式炉中混合进行适温热扩散,并结合退火工艺,发明了一种直接在铌酸锂薄膜上掺杂Er^(3+)的方法。通过不断变换热扩散温度、掺杂试剂浓度比例和晶体切向等参数,用控制变量法探究了不同参数对适温离子交换法掺杂Er^(3+)效果的影响,在热扩散和退火温度360℃及KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)质量比25∶1的参数设置下获得了表面形貌较佳的Z切掺铒铌酸锂薄膜。通过飞行时间二次离子质谱仪并利用已知掺杂浓度的薄膜进行定标,检测了所获得的掺铒铌酸锂薄膜中的Er^(3+)浓度情况,对所采用适温离子交换法的有效性进行了验证。这一方法大幅简化了铌酸锂薄膜掺杂的工艺,同时节约了成本,有助于后续在铌酸锂薄膜平台上实现分区掺杂的工作,为未来定制化铌酸锂光子集成平台的搭建提供参考。

关 键 词：铌酸锂薄膜  Er^(3+)  适温离子交换  二次离子质谱仪  

分 类 号：O734]