文献类型：期刊文章

作　　者：刘涛[1] 王智彬[1] 胡佳琪[1] 何耀楠[1] 景炜昌[1] 陈恩静[2] 周文龙[3] 于国明[1] 杨宁[4] 赵迪[4] 张国锋[1] 杨树明[1]

LIU Tao;WANG Zhibin;HU Jiaqi;HE Yaonan;JING Weichang;CHEN Enjing;ZHOU Wenlong;YU Guoming;YANG Ning;ZHAO Di;ZHANG Guofeng;YANG Shuming(School of Mechanical Engineering,Xi′an Jiaotong University,Xi′an 710049,China;Ostar-optical Micro-nano Optoelectronics Co.,Ltd.,Xi′an 710077,China;Motic China Group Co.,Ltd.,Xiamen 361006,China;National Market Supervision Key Laboratory of Measurement Optics and Applications,Shaanxi Institute of Metrology Science,Xi′an 710100,China)

机构地区：[1]西安交通大学机械工程学院,西安710049 [2]西安恩科微纳光电科技有限公司,西安710077 [3]麦克奥迪实业集团有限公司,厦门361006 [4]陕西省计量科学研究院国家市场监管重点实验室(计量光学及应用),西安710100

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家重点研发计划(No.2023YFE0203800);陕西省重点研发计划(Nos.2021ZDLGY12‒06,2021KY04);河南省重点研发专项(No.231111220500);国家自然科学基金(No.52305584)。

年　　份：2024

卷　　号：53

期　　号：1

起止页码：129-141

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2023、CAS、CSCD、CSCD2023_2024、EI、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。实验结果表明:通过光谱滤波获得了较为理想的白光干涉轴向响应曲线;系统的水平最大视场达到了14 mm;高度为2.04μm和20.43μm的标准台阶样品的测量结果分别为2.05μm和20.47μm,10次测量重复精度(标准差)分别为12 nm和16 nm。对粗糙度样板、微机电系统传感结构和半导体晶圆膜层进行了实测,表明所研制的系统装置在三维光学无损精密检测领域的应用具有可行性。

关 键 词：白光干涉 三维测量  大视场 滤波 半导体检测  

分 类 号：TH741]