文献类型：期刊文章

作　　者：许爱国[1] 梅迪[1]

XU Aiguo;MEI Di(NanjingGlarun Microwave Devices Co.,Ltd.,Nanjing 210013,China)

机构地区：[1]南京国睿微波器件有限公司,江苏南京210013

出　　处：《压电与声光》

年　　份：2023

卷　　号：45

期　　号：6

起止页码：813-817

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：该文设计了一款基于微机电系统(MEMS)工艺的小型高选择性的射频滤波器,与传统MEMS滤波器相比,该滤波器采用阶跃阻抗谐振器(SIR)降低器件尺寸,利用谐振器的场分布形成结构紧凑的交叉耦合,免去了传统的飞杆电耦合结构,在提高滤波器选择性的同时实现器件的紧凑布局。滤波器表面金属谐振腔通过金属化的硅通孔实现谐振器的接地,形成四分之一波长谐振结构。对性能和结构参数各异的滤波器进行设计和分析,并采用三维电磁仿真软件对滤波器进行模拟仿真。结果表明,滤波器尺寸为10 mm×10 mm×0.4 mm,驻波比<1.3 dB,插入损耗<3.5 dB。在2.5~2.7 GHz和3.4~3.5 GHz时,带外抑制>30 dB。

关 键 词：微机电系统(MEMS)工艺  阶跃阻抗 高选择性 小型化

分 类 号：TN713]