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期刊文章详细信息

氧化铈抛光液在醇-水体系中的分散悬浮性及其抛光性能研究    

Study on the Dispersion Stability and Polishing Performance of CeO_(2)Polishing Solution in Alcohol⁃water System

  

文献类型:期刊文章

作  者:余欢[1] 彭阳峰[1] 高玮[1,2] 赵月昌[2] 杨筱琼[2]

YU Huan;PENG Yang-feng;GAO Wei;ZHAO Yue-chang;YANG Xiao-qiong(School of Chemical Engineering,East China University of Science and Technology,Shanghai 200237,China;Shanghai Huaming-Gona Rare Earth New Materials Co.Ltd.,Shanghai 201611,China)

机构地区:[1]华东理工大学化工学院,上海200237 [2]上海华明高纳稀土新材料有限公司,上海201611

出  处:《稀土》

年  份:2023

卷  号:44

期  号:5

起止页码:13-21

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD_E2023_2024、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:研究了甲醇、乙醇、异丙醇与水的混合分散介质、分散剂PVP(聚乙烯吡咯烷酮)用量、CATB(十六烷基三甲基溴化铵)用量以及pH值对CeO_(2)抛光液分散悬浮性的影响,并进行了抛光性能验证。结果表明:60%(质量分数)甲醇-水作为分散介质,2%PVP和0.25%CATB(质量分数)为分散剂时,CeO_(2)抛光液的分散悬浮性效果最佳,沉降速率分别为3.83 mg/(cm^(3)·h)、3.16 mg/(cm^(3)·h)和3.16 mg/(cm^(3)·h),当两种分散剂复配使用能进一步增加抛光液的分散悬浮性,沉降速率为2.00 mg/(cm^(3)·h);pH值对CeO_(2)抛光液的分散悬浮性有较大影响,在抛光液不使用分散剂情况下,抛光液的分散悬浮稳定pH范围为5~9,沉降速率保持在3.80 mg/(cm^(3)·h)左右,在抛光液中复配使用分散剂PVP和CATB后,抛光液的分散悬浮稳定pH范围为5~8,沉降速率保持在2.00 mg/(cm^(3)·h)左右;调节pH为7,选取上述最佳效果的CeO_(2)抛光液抛光K9玻璃,玻璃表面粗糙度2.22 nm,材料去除速率3.83 mg/min,对比初始抛光液在材料去除速率上有进一步提高。

关 键 词:CeO_(2)抛光液  分散介质 分散剂 分散悬浮性  

分 类 号:TQ133.3]

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同被引文献:

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