文献类型：期刊文章

作　　者：刘有彬[1] 闫欢[1] 彭根斋[1] 白雪[1] 杨勤[1]

LIU Youbin;YAN Huan;PENG Genzhai;BAI Xue;YANG Qin(The 9th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Mianyang 621000,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第九研究所,四川绵阳621000

出　　处：《传感器与微系统》

年　　份：2023

卷　　号：42

期　　号：11

起止页码：58-61

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD_E2023_2024、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了提高微机电系统(MEMS)三轴加速度计的测量精度,建立了MEMS三轴加速度计卡尔曼滤波模型,根据MEMS三轴加速度计的输出误差模型,推导了基于六位置法的误差补偿数学模型,并给出了数学模型中补偿参数的解算方法。最后基于自主研发的电子罗盘进行了实验验证,实验结果表明:经过卡尔曼滤波后,MEMS三轴加速度计输出噪声减小了74%;经过六位置法标定后,MEMS三轴加速度计的测量精度提升了1个数量级,解算得到的倾斜角精度由5.9°RMS提高到0.3°RMS。

关 键 词：微机电系统三轴加速度计  卡尔曼滤波 六位置法  标定与补偿  电子罗盘

分 类 号：TP212] TH701]