文献类型：期刊文章

作　　者：周佳[1] 闫金健[2,3] 刘志强[2,3] 江莹[2,3] 包洋[2,3] 黄凯[2,3] 李金钗[2,3] 周德云[4]

ZHOU Jia;YAN Jinjian;LIU Zhiqiang;JIANG Ying;BAO Yang;HUANG Kai;LI Jinchai;ZHOU Deyun(School of Microelectronics,Northwestern Polytechnical University,Xi'an 710192,CHN;College of Physical Science and Technology,Xiamen University,Xiamen Fujian361000,CHN;Xiamen Future Display Technology Research Institute,Xiamen Fujian 361000,CHN;School of Electronic and Information,Key Laboratory of Aerospace Electronic Information Perception and Optoelectronic Control,Ministry of Education,Key Laboratory of Intelligent Aerospace Electronic System Technology,Ministry of Industry and Information Technology,Northwestern Polytechnical University,Xi'an 710192,CHN)

机构地区：[1]西北工业大学微电子学院,西安710192 [2]厦门大学物理科学与技术学院,福建厦门361000 [3]厦门市未来显示技术研究院,福建厦门361000 [4]西北工业大学电子信息学院,空天电子信息感知与光电控制教育部重点实验室,智能空天电子系统技术工业和信息化部重点实验室,西安710192

出　　处：《光电子技术》

基　　金：国家重点研发计划(2021YFB3600101);国家自然科学基金(62174141)。

年　　份：2023

卷　　号：43

期　　号：2

起止页码：91-113

语　　种：中文

收录情况：CAS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：Micro LED技术作为下一代显示技术的前沿研究领域,具备高亮度、高对比度和高能效等优势。回顾了Micro LED技术的发展历程,重点介绍了其技术难点以及当前的进展情况。技术难点包括外延结构设计、芯片制备中的尺寸效应、全彩化问题、Micro LED系统集成和可靠性研究。当前的进展涵盖了侧壁效应抑制、全彩化方案、巨量转移技术、氮化物红光技术、色转换技术、垂直堆叠技术、CMOS和TFT驱动、三维集成技术、透明显示以及纳米LED。最后展望了Micro LED技术的未来发展方向,包括解决技术难题、推动产业化进程和实现更广泛的应用。

关 键 词：微缩矩阵化发光二极管  尺寸效应 全彩化  系统集成

分 类 号：TN312.8] TN873