文献类型：期刊文章

作　　者：白昊东[1,2] 徐南[1,2] 周建康[1,2] 邹快盛[1,2] 沈为民[1,2]

Bai Haodong;Xu Nan;Zhou Jiankang;Zou Kuaisheng;Shen Weimin(Key Lab of Modern Optical Technologies of Education Ministry of China,School of Optoelectronic Science and Engineering,Soochow University,Suzhou 215006,Jiangsu,China;Key Lab of Advanced Optical Manufacturing Technologies of Jiangsu Province,School of Optoelectronic Science and Engineering,Soochow University,Suzhou 215006,Jiangsu,China)

机构地区：[1]苏州大学光电科学与工程学院教育部现代光学技术重点实验室,江苏苏州215006 [2]苏州大学光电科学与工程学院江苏省先进光学制造技术重点实验室,江苏苏州215006

出　　处：《光学学报》

年　　份：2023

卷　　号：43

期　　号：14

起止页码：203-211

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2023_2024、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为提高和扩大光谱共焦位移传感器的测量精度和测量范围,并解决像方测量大数值孔径和物方光纤小数值孔径匹配下镜头过长的问题,设计一种紧凑型长轴向色散光谱共焦镜头。色散镜头用5个球面镜片,在工作波长450~700 nm内轴向色散范围达3.5 mm,波长和焦移线性拟合相关系数为0.97,像方数值孔径为0.48,光学长度为135 mm。在相同的镜头参数下,该色散镜头的轴向长度相比普通色散镜头减少了约35%。最后利用设计的色散镜头搭建光谱共焦位移测量系统,并进行性能评估实验。实验结果表明,该系统的最大测量标准差为0.05μm,最大平均绝对误差为0.04μm,实际轴向分辨率优于0.5μm,对被测物的最大测量角约为28.5°。

关 键 词：光学设计 光谱共焦  轴向色散  反摄远结构  

分 类 号：O433] O439]