文献类型：期刊文章

作　　者：李文望[1] 张贺[1] 杨雨程[1] 谢昂达[1] 姜佳昕[1] 罗志伟[1] 郑高峰[2] 王翔[1]

LI Wenwang;ZHANG He;YANG Yucheng;XIE Angda;JIANG Jiaxin;LUO Zhiwei;ZHENG Gaofeng;WANG Xiang(School of Mechanical and Automotive Engineering,Xiamen University of Technology,Key Laboratory of Precision Actuation and Transmission of Fujian Province University,Xiamen Key Laboratory of Intelligent Manufacturing Equipment,Xiamen 361024,China;Pen-Tung Sah Institute of Micro-Nano Science and Technology,Xiamen University,Xiamen 361102,China)

机构地区：[1]厦门理工学院机械与汽车工程学院,精密驱动与传动福建省高校重点实验室,厦门市智能制造高端装备研究重点实验室,福建厦门361024 [2]厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361102

出　　处：《厦门大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金(52275575);福建省自然科学基金(2022H6036,2021J011196);福建省中青年教师教育科研项目(JAT220338);厦门理工学院科研攀登计划(XPDKT20022)。

年　　份：2023

卷　　号：62

期　　号：4

起止页码：525-532

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD_E2023_2024、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：近年来,为了满足人工智能、物联网和可穿戴设备的发展需求,高灵敏度、低成本的柔性压力传感器的设计和制备引起了研究人员的广泛关注.本文以聚二甲基硅氧烷(PDMS)四棱柱微结构薄膜作为传感器的介质层,以银纳米线-聚对苯二甲酸乙二醇酯(AgNW-PET)透明导电膜作为传感器的上下电极层,制备了一种具有“三明治”结构的柔性电容式压力传感器.采用压力装置以及电容采集装置对传感器的性能进行测试.测试结果表明,在0~0.18 kPa压强范围内,该传感器的灵敏度可达0.63 kPa^(-1),并且具有较低的迟滞性,较快的响应时间和恢复时间,以及较好的重复性和稳定性,能检测到0.73 Pa的微小压力.最后,展示了传感器在接触检测和接近感应中的应用.

关 键 词：可穿戴设备  聚二甲基硅氧烷 微结构 电容式压力传感器 灵敏度  3D打印

分 类 号：TP212]