文献类型：期刊文章

作　　者：冯宇烜[1] 陈西宁[1] 周艳文[1]

FENG Yuxuan;CHEN Xining;ZHOU Yanwen(Research Institute of Suface Engineering,School of Materials and Metallurgy,University of Science and Technology Liaoning,Anshan 114051,China)

机构地区：[1]辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所,辽宁鞍山114051

出　　处：《辽宁科技大学学报》

基　　金：辽宁科技大学大学生创新创业训练计划(S202210146043);国家自然科学基金(52271056,51972155)。

年　　份：2022

卷　　号：45

期　　号：6

起止页码：415-418

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、普通刊

摘　　要：喷针头是自动喷号机中喷枪的易损部件,其耐磨性直接影响自动喷号机的打印标号效果。为延长其使用寿命,本文采用等离子增强磁控溅射技术,通过调控热丝放电电流、反应气体通量和镀膜时间,在喷针头表面制备化学计量比和厚度不同的氮化铬薄膜。实验结果表明,热丝放电电流大、镀膜时间短且氩氮比高时,氮化铬薄膜的硬度、模量及膜基结合强度较高。热丝电流5 A×4、气压0.35 Pa、N2与Ar流量为1∶1的条件下镀膜60 min,获得厚度1.25μm的氮化铬薄膜,其膜基结合强度高达87 N,涂覆氮化铬的喷针头耐磨性能提高至原来的2倍。

关 键 词：等离子增强磁控溅射  氮化物陶瓷薄膜  力学性能 膜基结合强度  

分 类 号：TG178]