文献类型：期刊文章

作　　者：彭旭辉[1,2] 李鹏[1] 席克瑞[2] 段勤肄[1] 贾振宇[2] 邢一凡[2]

机构地区：[1]成都天马微电子有限公司 [2]上海天马微电子有限公司

出　　处：《中国新通信》

基　　金：广东省重点领域研发计划资助,项目编号:2019B010158001。

年　　份：2022

卷　　号：24

期　　号：23

起止页码：16-24

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：液晶移相器可作为中低轨无线卫星中相控阵天线实现电控波束扫描的关键部件。本文提出了一种基于成熟面板技术的高精度、低成本液晶移相器可行的量产化制造方案。实现了低方块电阻(Rs<0.02),高精度线宽线距(1μm厚铜CD/Space可达到3.5μm/8μm),并支持多规格Cu膜层厚度(1μm~3μm)物理气相沉积制备,高精度液晶滴下工艺以及高对准、低插损FPC和IC邦定工艺等量产可行性方案。低液晶盒厚度(Cu-Cu间距4μm~6μm)的量产工艺相较于传统方案液晶用量大幅降低,成盒精度高,不仅降低了液晶相控阵天线的材料成本,亦可提高液晶移相器的响应速度,从而提升液晶相控阵天线的波束扫描速率等性能。

关 键 词：液晶移相器  相控阵天线 量产制程  面板工艺  

分 类 号：TN623] TN821.8