文献类型：期刊文章

作　　者：王伟[1] 赵甜甜[1] 刘强[1,2] 韩邦成[3] 牛萍娟[2] 桑建[4]

WANG Wei;ZHAO Tiantian;LIU Qiang;HAN Bangcheng;NIU Pingjuan;SANG Jian(Institute of Precision Electromagnetic Equipment and Advanced Measurement Technology,Beijing Institute of Petrochemical Technology,Beijing 102617,China;School of Electronic and Information Engineering,Tiangong University,Tianjin 300387,China;Key Laboratory of Inertial Technology,Beihang University,Beijing 100191,China;Guangzhou Hongli Opto-Electronic Co.,Ltd.,Guangzhou 510890,China)

机构地区：[1]北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所,北京102617 [2]天津工业大学电子与信息工程学院,天津300387 [3]北京航空航天大学惯性技术重点实验室,北京100191 [4]广州市鸿利光电股份有限公司,广东广州510890

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：北京市自然科学基金面上项目资助(No.3212004);北京石油化工学院重要科研成果培育资助项目(No.BIPTACF-007)。

年　　份：2023

卷　　号：31

期　　号：2

起止页码：183-199

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2023_2024、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：对巨量转移(Mass Transfer, MT)方案和运动定位平台(Motion Positioning Platform, MPP)的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式,将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术,结合芯片转移效率和良率,论述了国内外MT方案的发展过程。在此基础上,从平台支撑方式,详细介绍了机械构型、气浮构型、磁浮构型和混合构型的MPP结构及工作原理,考虑运动行程、运动定位精度等因素,比较了MPP性能的优劣。展望了MT方案和MPP技术的未来发展方向,指出基于微孔液气双态介质的激光剥离MT和具备周向小角度修正以及轴向微高度调节能力的“机械+磁浮”混合构型MPP是Mini/Micro LED芯片转移技术的研究重点。

关 键 词：Mini/Micro LED  巨量转移  运动定位平台  显示技术 转移良率  

分 类 号：TN312.8]