文献类型：期刊文章

作　　者：高金海[1,2] 张洁[3] 李成刚[3] 张兵临[2]

GAO Jinhai;ZHANG Jie;LI Chenggang;ZHANG Binglin(School of Physics and Electrical Engineering,Zhengzhou Normal University,Zhengzhou He’nan 450044,China;Key Laboratory of Material Physics of the Ministry of Education,School of Physical Engineering,Zhengzhou He’nan 450052,China)

机构地区：[1]郑州师范学院物理与电子工程学院物理系,河南郑州450044 [2]郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052 [3]郑州师范学院物理与电子工程学院,河南郑州450044

出　　处：《电子器件》

基　　金：河南省科技攻关项目(182102210140)。

年　　份：2022

卷　　号：45

期　　号：6

起止页码：1354-1357

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特性。用热动力学过程解释了锥形碳纳米链的生长机理。

关 键 词：微波等离子体化学气相沉积 碳纳米管链  场发射

分 类 号：TB383[材料类] O484]