文献类型：期刊文章

作　　者：张琛[1] 侯嘉庆[1] 蔺家琪[1] 李凯[1] 范连斌[2] 张策[1] 王凯歌[1] 白晋涛[1]

ZHANG Chen;HOU Jiaqing;LIN Jiaqi;LI Kai;FAN Lianbin;ZHANG Ce;WANG Kaige;BAI Jintao(State Key Laboratory of Photon-technology in Western China Energy,Institute of Photonics&Photon Technology,School of Physics,Northwest University,Xi′an 710127,China;The 404 Company Limited China National Nuclear Corporation,Jiayuguan,Gansu 735100,China)

机构地区：[1]西北大学物理学院光子学与光子技术研究所省部共建西部能源光子技术国家重点实验室,西安710127 [2]中核四〇四有限公司,甘肃嘉峪关735100

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家重大科研仪器研制项目(No.51927804);国家自然科学基金(Nos.61378083,61405159,11504294);国家自然科学基金重大基础研究计划培育项目(No.91123030);陕西省科技创新团队项目(No.S2018‒ZC‒TD‒0061)。

年　　份：2022

卷　　号：51

期　　号：10

起止页码：5-13

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对目前微纳针形结构加工中存在的精度、形貌、可控性等问题,基于飞秒激光双光子加工系统中的单个体素,通过引入一维倾角自动调控体素的空间位置,提出了一种简单高效的加工连续渐变微纳针形结构的方法。通过开展加工实验,成功地在光刻胶材料中加工出了一系列长度可控、形貌连续渐变的微纳针形结构。实验结果表明:基于本方法加工的微纳针形结构,其高度呈线性变化关系且针尖形貌渐变精度达到了纳米量级,结构横向线宽渐变连续且沿中轴线呈对称分布;针形结构顶端最小高度达到5 nm,横向最小线宽为195 nm。其在功能表面、微纳流控、生物传感等研究领域具有潜在的应用价值。

关 键 词：飞秒激光 单体素 双光子聚合  连续渐变  微纳针形结构  

分 类 号：O437]