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压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法
Temperature compensation and field calibration method based on piezoresistive pressure sensor
文献类型:期刊文章
ZHOU Zhiwei;DENG Tianyu;SHI Liang;CHEN Baocheng;ZHANG Meng;JIANG Chao(The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Harbin 150028,China;China Aero Engine Control System Research Institute,Wuxi 214000,China)
机构地区:[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028 [2]中国航发控制系统研究所,江苏无锡214000
年 份:2022
卷 号:41
期 号:10
起止页码:145-148
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD_E2021_2022、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要:针对硅压阻式压力传感器受到外界环境的影响,其灵敏度、分辨率、动态范围、工作直线等关键技术指标会发生改变。本文提出一种现场在线式校准方法,通过建立压力,温度误差数学模型和采用数字滤波及曲线拟合温度补偿技术,对传感器信号的误差进行补偿。使变送器在-20~80℃温度区间内,输出精度达到±0.1%FS。该校准方法和电路可规范化,工程应用背景广泛。
关 键 词:硅压阻式变送器 在线式校准方法 数学模型 数字滤波 温度补偿
分 类 号:TP212]
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