文献类型：期刊文章

作　　者：赵智刚[1,2] 玄洪文[3] 王景冲[2] 丛振华[1,2] 张行愚[1,2] 小林洋平[4] 刘兆军[1,2]

Zhao Zhigang;Xuan Hongwen;Wang Jingchong;Cong Zhenhua;Zhang Xingyu;Kobayashi Yohei;Liu Zhaojun(School of Information Science and Engineering,Shandong Provincial Key Laboratory of Laser Technology and Application,Shandong University,Qingdao 266237,Shandong,China;Key Laboratory of Laser&Infrared System,Ministry of Education,Shandong University,Qingdao 266237,Shandong,China;GBA Branch of Aerospace Information Research Institute,Chinese Academy of Sciences,Guangzhou 510700,Guangdong,China;The Institute for Solid State Physics,The University of Tokyo,Chiba 277-8581,Japan)

机构地区：[1]山东大学信息科学与工程学院,山东省激光技术与应用重点实验室,山东青岛266237 [2]山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,山东青岛266237 [3]广东大湾区空天信息研究院,广东广州510700 [4]东京大学物性研究所,日本千叶277-8581

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金(62075116,62075117);山东省自然科学基金(ZR2020MF114);中国科学院空天信息创新研究院(E1Z1D101,E2Z2D101);山东大学齐鲁青年学者启动基金。

年　　份：2022

卷　　号：42

期　　号：11

起止页码：152-166

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：综述了真空紫外193 nm波段固体激光光源的发展情况,具体包括所涉及到的主要非线性晶体[偏硼酸钡(BBO)晶体、三硼酸锂(LBO)晶体、六硼酸铯锂(CLBO)晶体、氟代硼铍酸钾(KBBF)晶体等]的各类特性及其对比分析、近几十年来193 nm波段连续固体激光和脉冲固体激光的发展脉络、用于产生193 nm固体激光的各种基频光源组合,并对它们的优劣势进行了分类分析和对比。对影响非线性晶体紫外透过率和紫外激光输出功率的双光子吸收效应进行了描述,并对深紫外激光器中的激光诱导污染效应进行了描述,指出几类常用的避免或者缓解该效应的方法。最后对实现超高重复频率准连续真空紫外激光的难度和应当解决的问题进行了探讨。

关 键 词：深紫外 固体激光 真空紫外 非线性晶体 双光子吸收 激光诱导污染  

分 类 号：TN248]