文献类型：期刊文章

作　　者：龙辉[1] 赵志然[1] 李明[1] 郭良全[1]

LONG Hui;ZHAO Zhi-ran;LI Ming;GUO Liang-quan

机构地区：[1]湖南红太阳光电科技有限公司,湖南长沙430100

出　　处：《有色设备》

基　　金：湖南省创新型省份建设专项项目(2019TP2048)。

年　　份：2022

卷　　号：36

期　　号：2

起止页码：18-22

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：以BCl_(3)为掺杂源的低压硼扩散炉是N型TOPCon太阳能电池重要制造设备之一,其工艺过程具有气体输送控制难、工艺气体腐蚀性强、反应洁净度要求高、尾气高温等特点。针对这些特点本文通过优化气路系统、增加气路伴热,保证BCl_(3)精准稳定;同时采用全石英炉门,增加背水冷法兰和风冷法兰,有效杜绝了金属离子污染,提高了太阳能电池的少子寿命及效率;另一方面通过全包裹水冷设计、双滤芯过滤以及水洗功能,滤芯更换周期及真空泵使用寿命提高了1倍。此外本文也研究了不同插片方式下扩散方阻及不良率,相比顺气流竖直插片方式,水平插片方式同一小舟内上中下硅片的扩散方阻极差大,制成电池后黑边不良比例低。

关 键 词：硼扩散 BCl_(3)  低压 方阻 黑边  

分 类 号：TN305.3]