文献类型：期刊文章

作　　者：杜刚[1,2,3] 康晓旭[4] 曾江涛[1,2,3] 曾涛[1,2,3]

Du Gang;Kang Xiaoxu;Zeng Jiangtao;Zeng Tao(Research Center of Piezoelectric Materials and Devices,Shanghai Research Institute of Materials,Shanghai 200437,China;Shanghai Engineering Research Center of Electronic Circuit Intelligent Protection,Shanghai 201202,China;Shanghai Key Laboratory of Engineering Materials Application and Evaluation,Shanghai Research Institute of Materials,Shanghai 200437,China;Shanghai Integrated Circuit R&D Center Co.,Ltd.,Shanghai 201210,China)

机构地区：[1]上海材料研究所压电材料及器件研究中心,上海200437 [2]上海电子线路智能保护工程技术研究中心,上海201202 [3]上海材料研究所上海市工程材料应用与评价重点实验室,上海200437 [4]上海集成电路研发中心有限公司,上海201210

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：上海市国际合作项目(20520730600)。

年　　份：2022

卷　　号：59

期　　号：9

起止页码：393-402

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD2021_2022、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：多层压电驱动器具有体积小、响应快、刚度大、位移精度高、驱动力大等优点,在光刻机的开发中有广泛的应用。简要介绍了多层压电驱动器的基本结构与特征,列举了多层压电驱动器在光刻机投影物镜的高精度微调、掩模台的定位及光刻机的主动减振等方面的典型应用。最后,对多层压电驱动器的发展方向进行了展望。

关 键 词：多层压电驱动器  光刻机 投影物镜 主动减振  

分 类 号：O469]