文献类型：期刊文章

作　　者：赵圆圆[1] 罗海超[1] 梁紫鑫[1] 邓明杰[1] 段宣明[1]

Zhao Yuanyuan;Luo Haichao;Liang Zixin;Deng Mingjie;Duan Xuanming(Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communicatioris,Institute of Photonics Technology,Jinan University,Guangzhou 511443,Guangdong,China)

机构地区：[1]暨南大学光子技术研究院,广东省光纤传感与通信技术重点实验室,广东广州511443

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金(62005097);广东省自然科学基金-面上项目(2020A1515011529);广州市基础与应用基础研究项目(202102020999)。

年　　份：2022

卷　　号：49

期　　号：10

起止页码：322-351

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：光聚合微纳3D打印作为一种微纳尺度的增材制造技术,在高精度、复杂三维微纳结构的制造方面具有显著优势,已被广泛应用于微机电系统、微纳光子器件、微流体器件、生物工程领域。本文首先介绍了光聚合微纳3D打印技术的光物理/光化学原理,重点对所涉及的各种类型的打印工艺及其应用领域进行综述;然后讨论了一些前沿性的微纳3D打印方法,通过回顾和比较这些最新的技术,阐明了打印分辨率与打印效率之间的关系,以及串行扫描、并行扫描、面投影和体投影的打印模式对微纳3D打印性能的影响;最后对微纳3D打印技术进行全面总结与概述,并对其未来的发展趋势和应用前景予以展望。

关 键 词：激光技术 光学微加工  3D打印 双光子聚合加工  立体光固化  分辨率 打印效率  

分 类 号：O439]