文献类型：期刊文章

作　　者：张亚南[1] 张豪[1] 周子超[1] 肖宇琦[1] 邓娜[1] 付彬芸[1] 多树旺[1]

ZHANG Ya-nan;ZHANG Hao;ZHOU Zi-chao;XIAO Yu-qi;DENG Na;FU Bin-yun;DUO Shu-wang(Jiangxi Key Laboratory of Surface Engineering,School of Materials and Mechanical&Electrical Engineering,Jiangxi Science and Technology Normal University,Nanchang 330013,China)

机构地区：[1]江西科技师范大学材料与机电学院江西省材料表面工程重点实验室,江西南昌330013

出　　处：《材料保护》

基　　金：江西省井冈学者奖励计划;国家自然科学基金(51865015);江西省教育厅科技计划项目(GJJ190607,GJJ180596);江西科技师范大学本科生科研项目(20201404091);江西科技师范大学博士科研启动基金(2020BSQD011)资助。

年　　份：2022

卷　　号：55

期　　号：3

起止页码：23-27

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2021_2022、JST、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：为提升机械零件表面涂层的防护效用,结合中熵合金的独特设计理念,采用等离子体增强磁控溅射(PEMS)技术在316L不锈钢表面沉积(TiAlSi)N涂层。使用X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)分析涂层的化学成分、晶体结构、微观形貌和表面粗糙度。使用纳米划痕/压痕仪测试涂层的结合强度、硬度和弹性模量。EDS分析结果表明(TiAlSi)N为中熵陶瓷涂层。(TiAlSi)N涂层为非晶态,涂层表面平整致密,并且具有良好的力学性能,其结合强度、硬度和弹性模量分别约为25 N、21 GPa和225 GPa。试验结果可为未来深入研究该类涂层体系提供有价值的数据参考。

关 键 词：等离子体增强磁控溅射  中熵合金  (TiAlSi)N涂层  微观结构 纳米压痕

分 类 号：TG174.44]