文献类型：期刊文章

作　　者：刘姿彤[1] 尤聂薇[1] 朱亚彬[1] 张致诚[1] 刘歌[2] 陈云琳[2]

Liu Zitong;You Niewei;Zhu Yabin;Zhang Zhicheng;Liu Ge;Chen Yunlin(Department of Physics,School of Science,Beijing Jiaotong University,Beijing 100044,China;Institute of Applied Micro-Nano Materials,School of Science,Beijing Jiaotong University,Beijing 100044,China)

机构地区：[1]北京交通大学理学院物理系,北京100044 [2]北京交通大学理学院微纳材料及应用研究所,北京100044

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家大学生创新训练计划(210170067)。

年　　份：2022

卷　　号：42

期　　号：5

起止页码：265-269

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：选用纳米球刻蚀技术在蓝宝石(Al_(2)0_(3))基底上制备350 nm聚苯乙烯(PS)微球密排掩模版,然后采用反应射频磁控溅射方法分别在PS/Al_(2)0_(3)和Al_(2)0_(3)基底上沉积氧化锌(ZnO)薄膜,去除掩模版的PS微球后,对经退火处理的两种样品进行X射线衍射分析、扫描电子显微镜观察和荧光光谱测试。结果表明,在PS/Al_(2)O_(3)上生长的ZnO薄膜(样品1)的晶粒呈明显的蠕虫状,而直接在Al_(2)O_(3)基底上生长的ZnO薄膜(样品2)表面晶粒为不完全六棱台形状。样品2的结晶性能优于样品1,但是在362 nm附近样品1的近带边缘荧光发射峰强度比样品2的发射峰强43倍。

关 键 词：薄膜  紫外波段 光致发光 氧化锌薄膜 反应射频磁控溅射  纳米球刻蚀技术  

分 类 号：O482.31]