文献类型：期刊文章

作　　者：张波[1] 郭丽[1] 赵彩霞[1] 杨飞飞[1] 赵科巍[1] 李正平[2]

Zhang Bo;Guo Li;Zhao Caixia;Yang Feifei;Zhao Kewei;Li Zhengping(Shanxi Lu’an Photovoltaics Technology Co.,Ltd.,Changzhi 046000,China;Institute of Solar Energy,School of Physics and Astronomy,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China)

机构地区：[1]山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000 [2]上海交通大学物理与天文学院太阳能研究所,上海200240

出　　处：《半导体技术》

基　　金：山西省重点研发计划项目(201803D421097,201903D121019)。

年　　份：2022

卷　　号：47

期　　号：3

起止页码：211-216

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为研究金刚线切割(DWS)的多晶钝化发射极背面电池(PERC)的背叠层钝化工艺对太阳电池长波光谱响应的影响,通过时域有限差分(FDTD)软件模拟传统铝背场电池与PERC电池的电场强度分布情况,并从背面膜层的折射率、钝化质量以及电池的电性能方面比较了两种不同的电池。通过研究发现,在多晶PERC太阳电池中采用背叠层钝化工艺后,能够使电池长波光谱响应增强。当硅片背面刻蚀量达到0.13 g,且在碱抛光工艺后SiO_(2)/SiN_(x)∶H叠层膜膜厚为200 nm时,电池的反射率达到最大值,尤其是退火温度为700℃时的钝化效果最佳,此时电池的光电转换效率也最高。

关 键 词：光谱响应 背叠层钝化工艺  金刚线切割(DWS)  钝化发射极背面电池(PERC)  时域有限差分(FDTD)  

分 类 号：TM914.4]