文献类型：期刊文章

作　　者：陈文浩[1,3] 王闻捷[2,3] 于元元[3] 陈鹏辉[3] 郑波[3] 袁声召[3] 万义茂[3]

CHEN Wenhao;WANG Wenjie;YU Yuanyuan;CHEN Penghui;ZHENG Bo;YUAN Shengzhao;WANG Yimao(School of Testing and Photoelectric Engineering, Nanchang Hangkong University, Nanchang 330063, China;Key Laboratory of Artificial Structures and Quantum Control (Ministry of Education),Institute of Solar Energy School of Physics and Astronomy, Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240, China;Risen Energy Co., Ltd., Ningbo 315609, China)

机构地区：[1]南昌航空大学测试与光电工程学院,南昌330063 [2]上海交通大学物理与天文学院,人工结构及量子调控教育部重点实验室,太阳能研究所,上海200240 [3]东方日升新能源股份有限公司,浙江宁波315609

出　　处：《功能材料》

基　　金：国家重点研发计划项目(2018YFB1500503);南昌航空大学博士启动金项目(EA202108184)。

年　　份：2022

卷　　号：53

期　　号：2

起止页码：2162-2166

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：借助磷掺杂多晶硅钝化接触结构卓越的钝化质量,n-TOPCon太阳电池可获得极佳的电学性能表现。在实际工业化制造过程,获得高性能量产n-TOPCon电池的关键之一是需要实现电池双面钝化结构的匹配与优化。对于硼扩散制备而成的电池正表面,工业上常采用叠层钝化膜沉积前添加热氧化工艺来优化钝化质量。该热氧化过程对n-TOPCon电池正反面钝化结构以及最终的电池电学性能可能造成的影响,进行了详细探究;发现热氧化过程可以优化重掺杂硼扩面的钝化质量,而对于轻掺杂硼扩面有害无益,同时热氧化会导致掺杂多晶硅钝化接触结构的钝化质量下降。未经过氧化处理的n-TOPCon电池在光注入退火工艺处理后可以获得更大的电学性能增益。使用无氧化工艺获得了平均效率达24.02%,最高效率为24.34%的量产n-TOPCon太阳电池。

关 键 词：钝化接触结构  TOPCon  热氧化 钝化膜 晶硅太阳电池  

分 类 号：TK514]