文献类型：期刊文章

作　　者：张超[1] 李敏[1] 叶柏臣[1] 吴剑英[1] 王智[1] 李晓炜[1]

Zhang Chao;Li Min;Ye Baichen;Wu Jianying;Wang Zhi;Li Xiaowei(Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory,School of Mechanical Engineering,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China)

机构地区：[1]北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造研究所,北京100081

出　　处：《光电工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(52075041);北京市自然科学基金资助项目(JQ20015);北京市卓越青年科学家项目(BJJWZYJH01201910007022)。

年　　份：2022

卷　　号：49

期　　号：2

起止页码：30-43

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：微孔作为一种常见结构,被广泛应用于生物医疗、航空航天、三维封装等领域。飞秒激光具有的超短脉冲持续时间和超高峰值功率特性使其在高质量微孔加工方面具有独特优势。本文综述了近年来飞秒激光时空整形微孔加工方法及其应用,包括飞秒激光时空整形方法、时域/空域整形的电子动态调控微孔加工以及微孔在增透减反、切割以及油水分离、雾气收集、气体收集等方面的应用,并讨论了时空整形飞秒激光微孔加工目前所面临的挑战和未来研究方向。

关 键 词：飞秒激光 电子动态调控  微孔加工 时空整形  微孔应用  

分 类 号：TN249]