文献类型：期刊文章

作　　者：于宸[1] 顾方[1] 鲁瑛[1] 肖甲宏[1] 白杨[1] 朱文瀚[1]

YU Chen;GU Fang;LU Ying;XIAO Jia-hong;BAI Yang;ZHU Wen-han(China National Chemical Information Center Co.,Ltd.,Beijing 100029,China)

机构地区：[1]中国化工信息中心有限公司,北京100029

出　　处：《精细与专用化学品》

基　　金：中国工程科技知识中心建设项目(CKCEST-2021-1-3)。

年　　份：2022

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：8-11

语　　种：中文

收录情况：CAS、普通刊

摘　　要：通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析。重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议。

关 键 词：电子化学品 含氟电子气体  湿电子化学品  光刻胶 科技发展  

分 类 号：TQ421]