文献类型：期刊文章

作　　者：廖廷俤[1,2,3] 颜少彬[1] 黄启禄[1,2,3] 黄衍堂[2] 崔旭东[1]

LIAO Tingdi;YAN Shaobin;HUANG Qilu;HUANG Yantang;CUI Xudong(Research Center for Photonics Technology,Quanzhou Normal University,Quanzhou 362000,China;Fujian Provincial Key Laboratory for Advanced Micro-nano Photonics Technology and Devices,Quanzhou 362000,China;Fujian Provincial Collaborative Innovation Center for Ultra-Precision Optical Engineering and applications,Quanzhou 362000,China)

机构地区：[1]泉州师范学院光子技术研究中心,福建泉州362000 [2]泉州师范学院福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建泉州362000 [3]泉州师范学院福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心,福建泉州362000

出　　处：《光学仪器》

基　　金：福建省科技重大专项(2019HZ020010)。

年　　份：2021

卷　　号：43

期　　号：6

起止页码：64-69

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：针对待测晶粒大的情况,为解决晶粒双面检测时双面之间产生光程差导致的的成像清晰度问题,提出了一种基于偏振分光成像法的半导体制冷器件晶粒相邻双面同时成像缺陷检测的装置。利用偏振分光器与直角转像棱镜对采用偏振分束器与偏振相机的晶粒天面和侧面同时等光程共焦成像检测装置进行了光学设计,完成了晶粒相邻双面同时等光程偏振成像缺陷检测的实验验证。结果表明,该偏振分光成像检测技术可以实现晶粒相邻面的同时缺陷检测,并能很好地满足相邻面等光程成像缺陷检测的性能要求。当晶粒相邻面等光程共焦时,检测分辨率可达到110 lp/mm以上,而当晶粒相邻面离焦(准共焦)仅±0.20 mm时,分辨率则降至45 lp/mm以下。本检测装置具有双面成像清晰度好、成像光路共焦调整方便、检测装置结构简单可靠,以及提高的缺陷检测性能等优点。

关 键 词：机器视觉  光学设计 自动光学检测 偏振分束器 半导体制冷器晶粒  

分 类 号：TN253]