文献类型：期刊文章

作　　者：王耀利[1,2] 张凯旗[1,2] 张翀[2,3] 程亚昊[2,4] 韩路路[2,4]

Wang Yaoli;Zhang Kaiqi;Zhang Chong;Cheng Yahao;Han Lulu(School of Electrical and Control Engineering,North University of China,Taiyuan 030051,China;Center for Microsystem Intergration,North University of China,Taiyuan 030051,China;School of Information and Communication Engineering,North University of China,Taiyuan 030051,China;School of Instrument and Electronics,North University of China,Taiyuan 030051,China)

机构地区：[1]中北大学电气与控制工程学院,太原030051 [2]中北大学微系统集成研究中心,太原030051 [3]中北大学信息与通信工程学院,太原030051 [4]中北大学仪器与电子学院,太原030051

出　　处：《国外电子测量技术》

年　　份：2021

卷　　号：40

期　　号：9

起止页码：106-110

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：射频MEMS开关以及以开关为基础的射频MEMS器件是应用于5G通信中的重要组成部分。随着通信技术的发展,多种类射频MEMS器件得到广泛应用,定期对生产批次射频MEMS器件进行筛选和检测成为关键。目前射频MEMS器件性能的快速无损检测,依旧是行业内没有很好解决的难题。以铜制弹片为媒介,针对表面贴装式集成封装射频器件,设计高性能、高精度、快速无损伤测试夹具。通过对测试夹具进行多次仿真和实验,证实测试夹具测试射频器件频率可达2 GHz并且测试夹具本身损耗很低。

关 键 词：测试夹具 弹片  射频MEMS器件  

分 类 号：TN707]