文献类型：期刊文章

作　　者：李彦宏[1] 杨帅[1] 唐顺[1] 赵维谦[1] 邱丽荣[1]

LI Yan-hong;YANG Shuai;TANG Shun;ZHAO Wei-qian;QIU Li-rong(Beijing Key Lab for Precision Optoelectronic Measurement Instrument and Technology,School of Optics and Photonics,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China)

机构地区：[1]北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京100081

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家重点研发计划项目资助(No.2017YFA0701203)。

年　　份：2021

卷　　号：29

期　　号：10

起止页码：2287-2295

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了提高曲率半径的测量精度,提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法,研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法。在共焦测量系统的探测光路中通过D型光阑遮挡,使一半测量光束聚焦在焦面探测CCD,采用虚拟针孔定位算法对该CCD探测的艾里斑进行分割焦斑差动相减归一化探测,然后利用差动共焦曲线的零点对被测件的“共焦”位置和“猫眼”位置进行精确定焦并测得它们之间的距离,最终实现曲率半径的高精度测量。实验结果表明:该方法测量的曲率半径为-121.2094 mm,测量重复性优于5×10^(-6),无需根据测量物镜和被测镜的参数进行硬件调整,不仅满足曲率半径高精度测量的需求,还简化了光路结构,缩减了研制装调成本,为曲率半径的高精度、快速测量提供了新途径。

关 键 词：激光测量 分光瞳  曲率半径 虚拟针孔  差动共焦  单路离轴探测  

分 类 号：TH741]