文献类型：期刊文章

作　　者：刘佳宁[1] 支绍韬[2] 孙学成[3] 雷冲[1]

Liu Jianing;Zhi Shaotao;Sun Xuecheng;Lei Chong(Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education,Department of Micro-Nano Electronics,School of Electronic Information and Electrical Engineering,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China;College of Information,Mechanical and Electrical Engineering,Shanghai Normal University,Shanghai 200234,China;Microelectronics Research and Development Center,School of Mechatronic Engineering and Automation,Shanghai University,Shanghai 200444,China)

机构地区：[1]上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240 [2]上海师范大学信息与机电工程学院,上海200234 [3]上海大学机电工程与自动化学院微电子研究与开发中心,上海200444

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103);上海交通大学Agri-X基金资助项目(AgriX2015005);上海交通大学航天先进技术联合研究中心技术创新项目(USCAST2015-2)。

年　　份：2021

卷　　号：58

期　　号：11

起止页码：949-956

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：简要介绍了磁张量仪的基本概念与种类划分,并对不同种类的磁张量仪进行对比。阐述了国内外磁通门磁张量仪的发展历史,包括十字型、正四面体型、三角型和正六面体型等不同构型的磁通门磁张量仪。说明了磁张量仪在航磁测量和海洋磁测领域的需求与要求。概述了磁通门磁张量仪使用过程中存在的测量误差及相应的校正算法研究,并对磁通门磁张量仪搭载外部平台时的误差补偿方法进行总结。介绍了磁通门传感器的微电子机械系统(MEMS)微型化发展历程,并对其未来研究重点进行了展望。

关 键 词：磁张量仪  微电子机械系统(MEMS)  磁通门  磁测量 微型化

分 类 号：TP212] TH703]