期刊文章详细信息
基于COMSOL的声表面波器件二维等效模型设计
Design of Two-Dimensional Equivalent Model of Surface Acoustic Wave Device Based on COMSOL
文献类型:期刊文章
WANG Wei;ZHOU Yangchun;WANG Fang;TAN Jiwei;TENG Hongbo;WANG Huadong(Key Laboratory of Microelectronic Engineering, Chongqing University of Posts and Telecommunications, Chongqing 400065, China)
机构地区:[1]重庆邮电大学微电子工程重点实验室,重庆400065
基 金:重庆市科技局科技重大专项基金资助项目(cstc2018jszx-cyztzxX0054);重庆市教委基金资助项目(KJQN201800628)。
年 份:2021
卷 号:43
期 号:5
起止页码:605-608
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:利用COMSOL软件建立了声表面波(SAW)单端口谐振器和双端口滤波器的二维等效模型,基于有限元法通过该模型计算了完整的SAW谐振器和梯形滤波器结构的导纳和频率响应特性,并将该结果与通过COM耦合模型模拟的结果进行对比。结果表明,基于有限元法利用二维等效模型模拟SAW器件性能是可行的。同时研究了电极电阻和传播损耗对谐振器导纳的影响,为进一步研究SAW器件特性提供了理论依据。
关 键 词:声表面波(SAW)谐振器 梯形滤波器 二维等效模型 有限元法 COM耦合参数
分 类 号:TN713] TN65
参考文献:
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二级参考文献:
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耦合文献:
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引证文献:
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二级引证文献:
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同被引文献:
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