文献类型：期刊文章

作　　者：刘婧雯[1] 罗忠宝[1] 段俊萍[1] 张斌珍[1]

Liu Jingwen;Luo Zhongbao;Duan Junping;Zhang Binzhen(Key Laboratory of Instrumentation Science and Dyna mic Measurement of Ministry of Education,Micro and Nano Technology Research Center,North University of China,Taiyuan 030051,China)

机构地区：[1]中北大学微米纳米技术研究中心仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(U1637212);装备预研领域基金资助项目(61404130402)。

年　　份：2021

卷　　号：58

期　　号：10

起止页码：913-919

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计了一种基于复眼结构的电容式柔性压力传感器,其具有响应时间快和灵敏度高等优点。该传感器由三层组成,介质层经过双层复眼微结构键合而成,电极层以柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基底,经过改性处理后磁控溅射镀上一层金属银。柔性传感器的微结构单元为单个直径为40μm的均匀复眼半球形结构。在压力范围内,传感器单元的灵敏度为0.27 kPa^(-1)(无微结构的PDMS传感器灵敏度为0.16 kPa^(-1)),响应时间(26 ms)快。经过600次的撞击实验仍然能保持稳定的输出。作为柔性传感器,该传感器还可以应用于人体皮肤及其他曲面。在未来电子皮肤领域有广阔的应用前景。

关 键 词：压力传感器 柔性材料  电容式传感器 动态检测 复眼结构  

分 类 号：TP212]