文献类型：期刊文章

作　　者：范丽娜[1,2,3,4] 吴倩楠[1,3,4,5] 王姗姗[1,3,4,6] 韩路路[1,3,4,6] 侯文[2,3,4] 李孟委[1,3,4,6]

FAN Lina;WU Qiannan;WANG Shanshan;HAN Lulu;HOU Wen;LI Mengwei(Nantong Institute of Intelligent Opto-Mechatronics,North Univ.of China,Nantong,Jiangsu 226000,P.R.China;School of Information and Communication Engineering,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;Academy for Advanced Interdisciplinary Research,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;Center for Microsystem Intergration,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;School of Science,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;School of Instrument and Electronics,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China)

机构地区：[1]中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000 [2]中北大学信息与通信工程学院,太原030051 [3]中北大学前沿交叉科学研究院,太原030051 [4]中北大学微系统集成研究中心,太原030051 [5]中北大学理学院,太原030051 [6]中北大学仪器与电子学院,太原030051

出　　处：《微电子学》

基　　金：双百工艺攻关(JCKY2018408B006);新品项目(2017XW1001);预研项目(31513060101)。

年　　份：2021

卷　　号：51

期　　号：4

起止页码：533-538

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对MEMS单刀多掷(SPMT)开关插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于雪花型功分器的单刀五掷(SP5T)MEMS开关,通过雪花型功分器实现信号的均衡分配和低损耗传输。通过设计H形上电极结构,有效减小开关弱接触,增强开关接触稳定性,实现信号的高隔离。采用HFSS仿真软件,对开关的插入损耗、隔离、驱动电压和应力分布进行了设计,并结合COMSOL软件对开关进行了机械性能分析。结果表明,在1~20 GHz频段内,五个端口插入损耗在0.2 dB@20 GHz以下,隔离度在23 dB@20 GHz以上,驱动电压为24 V。这些指标均优于常规SPMT开关。该SP5T MEMS开关可应用于多任务、多通道可调谐器件中,在无线通信、微波测试系统中具有应用价值。

关 键 词：单刀五掷开关  MEMS 雪花型功分器  高隔离 低插损  

分 类 号：TN389]