文献类型：期刊文章

作　　者：王姗姗[1,2,3,4] 吴倩楠[1,3,4,5] 韩路路[1,2,3,4] 范丽娜[1,3,4,6] 李孟委[1,2,3,4]

WANG Shanshan;WU Qiannan;HAN Lulu;FAN Lina;LI Mengwei(Nantong Institute of Intelligent Opto-Mechatronics,North Univ.of China,Nantong,Jiangsu 226000,P.R.China;School of Instru.and Elec.,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;Academy for Advanced Interdisciplinary Research,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;Center for Microsyst.Integr.,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;School of Sci.,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China;School of Inform.and Commun.Engineer.,North Univ.of China,Taiyuan 030051,P.R.China)

机构地区：[1]中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000 [2]中北大学仪器与电子学院,太原030051 [3]中北大学前沿交叉科学研究院,太原030051 [4]中北大学微系统集成研究中心,太原030051 [5]中北大学理学院,太原030051 [6]中北大学信息与通信工程学院,太原030051

出　　处：《微电子学》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61705200);新品项目(2018XW0026,2019XW0011);中北大学青年学术带头人项目(QX201905);双百工艺攻关项目(JCKY2018408B006)。

年　　份：2021

卷　　号：51

期　　号：4

起止页码：494-499

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过短路-开路-负载-直通(SOLT)校准原理与MEMS开关结合,设计了一种小型化多功能电子校准件。仿真结果表明,在0.1~20 GHz频段内,该电子校准件的双端口校准仅需2步;直通状态插入损耗≤0.9 dB,开路状态回波损耗≤0.48 dB,短路状态回波损耗≤0.39 dB。整体尺寸为2.5 mm×1.2 mm×0.8 mm。该MEMS电子校准件体积小,损耗低,成本低,校准准确度高,效率高,适用于毫米波测量和小型智能化校准领域。

关 键 词：MEMS 电子校准件  单刀四掷  SOLT  

分 类 号：TN606]